Lam Research dan JSR/Inpria Bergabung dalam Pengembangan Material Semikonduktor Generasi Berikutnya dan Pembuatan Pola EUV

Dalam langkah penting untuk mengatasi permintaan yang meningkat dari chip AI dan komputasi berkinerja tinggi, dua raksasa industri semikonduktor telah meresmikan perjanjian lisensi silang dan kolaborasi non-eksklusif. Kemitraan ini menggabungkan Lam Research Corp. (Nasdaq: LRCX), terkenal dengan kemampuan peralatan fabrikasi wafer-nya, dengan JSR Corporation dan anak perusahaannya Inpria Corporation, penyedia solusi fotoresist oksida logam canggih.

Menjembatani Ilmu Bahan dan Inovasi Peralatan

Aliansi strategis ini bertujuan untuk menyelaraskan keahlian JSR/Inpria dalam bahan semikonduktor dengan keahlian Lam dalam teknologi deposisi, etsa, dan pola. Kombinasi ini dirancang untuk mengatasi salah satu tantangan paling mendesak di industri semikonduktor: memungkinkan produsen chip untuk meningkatkan skala produksi secara efisien saat mereka bertransisi menuju aplikasi kecerdasan buatan.

Solusi resist oksida logam Inpria Corporation merupakan kemajuan penting untuk sistem litografi generasi berikutnya. Ketika diintegrasikan dengan peralatan resist kering Aether milik Lam—sebuah teknologi terobosan yang menyederhanakan pembuatan pola chip yang rumit—kemitraan ini dapat secara substansial mengurangi kompleksitas dan biaya manufaktur bagi perusahaan yang mengembangkan prosesor terdepan.

Peta Jalan Teknis dan Area Inovasi

Kolaborasi ini mencakup beberapa inisiatif pengembangan canggih:

Kemajuan Litografi EUV: Kerja sama dalam pola ultraviolet ekstrem (EUV) baik NA rendah maupun NA tinggi, memanfaatkan formulasi resist Inpria dan keahlian pola Lam. EUV NA tinggi merupakan jalur penting untuk meningkatkan skala node semikonduktor di luar kemampuan saat ini.

Bahan untuk Pemrosesan Presisi: Riset dan pengembangan resist oksida logam dan film khusus yang dirancang untuk aplikasi pola generasi berikutnya, penting untuk memproduksi sirkuit padat yang dibutuhkan dalam prosesor AI dan perangkat keras pusat data.

Solusi Deposisi dan Etsa Canggih: Menggunakan akuisisi terbaru JSR terhadap Yamanaka Hutech Corporation, perusahaan akan menyelidiki bahan prekursor dan proses baru untuk deposisi lapisan atom dan etsa. Eksplorasi ini memperluas cakupan inovasi dari pola ke proses bahan dasar yang mendefinisikan fabrikasi chip modern.

Implikasi Strategis dan Konteks Pasar

Lam Research, entitas FORTUNE 500 yang berkantor pusat di Fremont, California, telah mempertahankan posisinya sebagai pemasok dasar bagi produsen semikonduktor secara global. Peralatan perusahaan kini mendukung hampir setiap chip canggih yang diproduksi saat ini. Dengan memperluas kemitraan dengan spesialis bahan seperti JSR/Inpria, Lam memperkuat pendekatan ekosistemnya untuk menyelesaikan tantangan fabrikasi yang semakin kompleks.

JSR Corporation beroperasi sebagai penyedia bahan teknologi lengkap, dengan Divisi Bahan Elektroniknya yang menyediakan fotoresist, bahan proses, dan solusi khusus di seluruh produksi chip logika dan memori. Akuisisi Inpria pada 2021 menempatkan JSR di garis depan pengembangan resist oksida logam EUV—kemampuan yang menjadi semakin berharga saat industri mendorong pola resolusi tinggi.

Penyelesaian Litigasi

Sebagai bagian dari kerangka perjanjian, Inpria dan Lam telah memutuskan untuk menolak semua klaim yang masih tertunda dalam kasus litigasi Inpria v. Lam Research (Case 1:22cv01359) di District Court of Delaware, bersama semua proses review inter partes terkait. Penyelesaian ini menandai pergeseran dari ketegangan kompetitif ke inovasi kolaboratif.

Perspektif Kepemimpinan Industri

“Dengan menggabungkan keahlian bahan JSR dan Inpria dengan kekuatan Lam dalam deposisi, etsa, dan teknologi resist kering, kami bertujuan mempercepat solusi untuk litografi EUV—termasuk NA tinggi—dan mendukung industri untuk meningkatkan skala secara efisien di era AI yang baru,” ujar Toru Kimura, pejabat senior di JSR Corporation, menekankan komitmen perusahaan dalam mengembangkan bahan mutakhir untuk peta jalan teknologi yang menuntut.

Vahid Vahedi, kepala teknologi dan keberlanjutan di Lam Research, menyoroti bagaimana kemitraan ini melengkapi kemampuan deposisi lapisan atom dan etsa yang sudah mapan dari Lam, dan mencatat bahwa kolaborasi ini memungkinkan inovasi yang dipercepat di saat kompleksitas semikonduktor terus meningkat.

Kemitraan ini mencerminkan tren industri yang lebih luas menuju kolaborasi teknis mendalam, saat produsen chip dan pemasok peralatan bekerja sama untuk mengatasi tantangan fisik dan ilmiah bahan dasar yang melekat dalam meningkatkan skala produksi semikonduktor untuk lanskap komputasi berbasis kecerdasan buatan.